使液壓伺服閥產(chǎn)生動作，消除反饋信號與指令信號間的誤差，使各液動機達到預定要求。電液伺服馬達是可用于開環(huán)控制系統(tǒng)的伺服元件，它由步進電機和液壓扭矩放大器組成。它可將電氣系統(tǒng)發(fā)出的脈沖信號轉(zhuǎn)換成模擬量，經(jīng)功率放大后輸出液壓扭矩，驅(qū)動執(zhí)行機構(gòu)嚴格地按照指令動作運動或進行精確定位，所以又稱為電液脈沖馬達或電液步進馬達。步進電機是將電脈沖信號轉(zhuǎn)變?yōu)榻俏灰频奶厥怆姍C。它旋轉(zhuǎn)角度的大小與輸入脈沖信號的數(shù)目成正比。轉(zhuǎn)動的速度與輸入脈沖信號的頻率成正比。液壓扭矩放大器由伺服閥和液壓馬達組成。馬達為斜盤式缸體旋轉(zhuǎn)軸向柱塞馬達。伺服閥是四邊控制滑閥，閥芯在閥體內(nèi)既能軸向移動，又能轉(zhuǎn)動。閥芯左端螺紋與螺母配合，螺母兩端有推力軸承。

使它只能被馬達軸的尾部帶動旋轉(zhuǎn)而不能軸向移動。當步進電機帶動閥芯旋轉(zhuǎn)時，閥芯在左端螺紋的作用下產(chǎn)生軸向位移，打開相應的控制閥口，使馬達相應轉(zhuǎn)動，此時螺母隨著轉(zhuǎn)動，并使閥芯復位，關(guān)閉閥口，使馬達停止。電液伺服馬達慣性小、反應靈敏、輸出扭矩大、運動精度高、工作可靠，廣泛用于數(shù)控機床的開環(huán)控制系統(tǒng)。電液伺服缸是用于開環(huán)控制系統(tǒng)的伺服元件，它由步進電機、伺服閥、液壓缸和反饋機構(gòu)組成。步進電機帶動伺服閥芯和精密絲杠旋轉(zhuǎn)一定角度，同時拖動閥芯向左位移，打開四邊滑閥的閥口，使壓力油通入油缸左腔，使活塞向右運動?；钊ㄟ^絲母、精密絲杠向右推動閥芯復位，切斷油路，使活塞停止運動，完成一次指令動作。一次指令動作的脈沖數(shù)目越多。

活塞運動的距離越長，脈沖信號的頻率越高，活塞運動的速度越快。電液伺服缸的脈沖當量可達0.01mm/脈沖，精度較高?？芍苯犹峁┩鶑瓦\動的動力，因而在某些情況下比電液伺服馬達使用方便。液壓伺服系統(tǒng)除了具有一般液壓傳動系統(tǒng)的共同要求之外，還對某些特性有特殊的要求。這些特性決定了系統(tǒng)的靈敏度、工作精度、穩(wěn)定性和可靠性。其特性可分為靜態(tài)特性和動態(tài)特性。其靜態(tài)特性是指它的隨動速度和負載不變，系統(tǒng)各參數(shù)處于穩(wěn)定的工作狀態(tài)下能夠保證工作精度的性能。包括靜不靈敏區(qū)、速度增益和剛性系數(shù)三項指標。1.靜不靈敏區(qū)伺服閥的控制閥口在某一范圍內(nèi)變化時，伺服系統(tǒng)沒有輸出運動，因而引起系統(tǒng)誤差，這一區(qū)域為靜不靈敏區(qū)ef。其大小取決于兩個主要因素。

一是靜摩擦力的影響，二是控制閥口搭合量的影響。另外，機械的傳動間隙和彈性變形也是影響靜不靈敏區(qū)的因素。靜不靈敏區(qū)越小，系統(tǒng)零位時的誤差越小。2.速度增益當載荷為零時，執(zhí)行元件的隨動速度v（或ω）的增量Δv（或Δω）和伺服系統(tǒng)誤差e的增量Δe之間的比值叫作速度增益Cv。速度增益越大，系統(tǒng)的精度就越高，動作靈敏，但不夠穩(wěn)定。3.剛性系數(shù)當隨動速度為零時，加在系統(tǒng)上的外部載荷為W（或M）的增量ΔW（或ΔM）與伺服系統(tǒng)誤差e的增量Δe之間的比值叫作剛性系數(shù)Cp。剛性系數(shù)越大，系統(tǒng)的剛度就越高。液壓伺服系統(tǒng)的速度增益和剛性系數(shù)與系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)系數(shù)和供油壓力等因素有關(guān)。油液壓力越高，液壓伺服系統(tǒng)的速度增益和剛度系數(shù)越高。

伺服閥的直徑越大，速度增益越大。增加液動機的有效工作面積能提高剛性系數(shù)，但會降低速度增益。液動機的靜摩擦力越大，靜不靈敏區(qū)越大。在實現(xiàn)情況下伺服系統(tǒng)工作既要產(chǎn)生一定的隨動速度，又要克服一定的負載，因此必須同時反映它們與隨動誤差三者之間的關(guān)系才接近實際情況，因而在研究某些伺服元件時，常常用速度——負載特性曲線表示出它的靜特性。這是指它的隨動速度或負載改變地過渡狀態(tài)下保持工作精度和抗振穩(wěn)定性的能力。它主要通過抗振穩(wěn)定性和過渡過程的品質(zhì)來表示。1.抗振穩(wěn)定性這是保證液壓伺服系統(tǒng)正常工作的必不可少的條件。它是指系統(tǒng)改變指令信號，或發(fā)生干擾失去平衡后恢復穩(wěn)定狀態(tài)的能力?？拐穹€(wěn)定性好的系統(tǒng)在隨動運動時不產(chǎn)生振動；

在過渡過程時能很快地出現(xiàn)新的平衡，并且不引起振動；一旦系統(tǒng)產(chǎn)生振動，則能夠很快地消除，并迅速恢復穩(wěn)定狀態(tài)。2.過渡過程的品質(zhì)過渡過程是指伺服系統(tǒng)接受指令信號或發(fā)生干擾后，由一個穩(wěn)定狀態(tài)過渡到另一個穩(wěn)定狀態(tài)的過程。過渡過程的品質(zhì)主要用以下幾個指標表示。最大超調(diào)量：執(zhí)行元件在過渡過程中振蕩環(huán)節(jié)輸出量的幅值與輸入量幅值的最大差值稱為最大超調(diào)量σ。一般超調(diào)量越小，動態(tài)品質(zhì)越好。過渡過程時間：從輸入信號開始到執(zhí)行元件工作趨于穩(wěn)定所經(jīng)過的時間稱為過渡過程時間T。振蕩次數(shù)：一般情況下希望振蕩次數(shù)n在2~3次以下。液壓伺服系統(tǒng)的動態(tài)特性往往與靜態(tài)特性發(fā)生矛盾。以上各章介紹的液壓元件及系統(tǒng)大致可分為開關(guān)控制和伺服控制兩類。